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D0417、氮化硅系列专利技术专辑
作者:jnxhcy 来源:本站原创 点击:10512 更新:2013-5-22 21:32:04
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135   200810015133.0    碘辅助低温制备氮化硅纳米材料的方法
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150   03146353.3    增进氮化硅只读存储器的存储单元保持力的方法
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152   200410023952.1    氮化硅-氮化硼-二氧化硅陶瓷透波材料及其制备方法
153   200410037807.9    一种造粒燃烧合成氮化硅的生产方法
154   200410069964.8    氮化硅质蜂窝式过滤器及其制造方法
155   200410069982.6    氮化硅质过滤器的制造方法
156   200410061738.5    氮化硅膜、半导体器件、显示器件及制造氮化硅膜的方法
157   200410009294.0    胶态成型制备氮化硅耐磨陶瓷的优化设计方法
158   02823659.9    用化学蒸气沉积技术沉积氮化硅膜和氧氮化硅膜的方法
159   200410037963.5    高热导率、高强度氮化硅陶瓷制造方法
160   200410009794.4    用微波技术快速烧结氮化硅结合碳化硅耐火材料的方法
161   200410043962.1    钎焊氮化硅陶瓷的钎料及以该钎料连接氮化硅陶瓷的方法
162   200410085537.9    处理包含含氧氮化硅介质层的半导体器件的方法
163   200410088856.5    高精度热压氮化硅陶瓷球轴承及其制造方法
164   200410096391.8    用于化学机械抛光氧化硅和氮化硅的组合物和方法
165   200510023368.0    以氮化硅镁为烧结助剂的高热导氮化硅陶瓷的制备方法
166   200510023369.5    一种高硬度氮化硅陶瓷的低温烧结方法
167   200410073163.9    一种氮化硅/碳化硅多孔陶瓷的制备方法
168   200410039170.7    常压燃烧合成氮化硅粉体的方法
169   200510011255.9    一种氮化硅陶瓷部件的微加工方法
170   200510052407.X    化学机械抛光氧化硅和氮化硅的组合物与方法
171   200410014284.6    玻璃包覆热等静压制备高性能氮化硅陶瓷
172   200410029809.3    控温活化自蔓延燃烧合成α相氮化硅粉体的方法
173   03819485.6    氮化硅的模型配件和制造这种模型配件的方法
174   03821675.2    用于电致发光显示器的氧氮化硅钝化的稀土激活硫代铝酸盐磷光体
175   03822854.8    由热化学气相沉积制造氮化硅薄膜和氮氧化硅薄膜的方法
176   200610024146.5    高强度、低介电常数的二氧化硅结合的氮化硅多孔陶瓷及制备方法
177   200610024154.X    一种高热导氮化硅陶瓷的制备方法
178   200610033127.9    一种纳米氮化硅抛光组合物及其制备方法
179   200610041867.7    一种氮化硅多孔陶瓷及其制备方法
180   200510097482.8    多阶氮化硅只读记忆胞的程序化方法
181   200510138148.2    化学机械抛光二氧化硅和氮化硅的多步方法
182   200610001186.8    具有锗化硅材料和受应力氮化硅层的衬底
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198   200480005652.9    利用具有氨的超低压快速热退火调节氧氮化硅的氮分布曲线
199   200510044249.3    一种氮化硅—碳化钛复合材料的制备方法
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206   200510096415.4    一种自增韧氮化硅陶瓷线材精轧辊材料及其制备方法
207   200610011114.1    一种原位增韧氮化硅基陶瓷及其超快速烧结方法
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209   200510116191.9    用于选择性抛光氮化硅层的组合物以及使用该组合物的抛光方法
210   200510045575.6    一种β-氮化硅粉体材料的一步反应低温制备方法
211   200510130673.X    一种中空式环状布料燃烧合成均质氮化硅粉体的方法
212   200510130678.2    一种层状布料燃烧合成均质氮化硅粉体的方法
213   200510120731.0    采用纳米碳管模板法制备氮化硅纳米丝的方法
214   200610018178.4    一种磷酸作为添加剂的氮化硅多孔陶瓷材料的制备方法
215   200510051754.0    氮化硅膜的制造方法
216   200610025537.9    一种低温化学气相沉积制备氮化硅薄膜的方法
217   200610066216.3    使用原子层沉积法的氮化硅膜的形成方法
218   200580000816.3    具有高导热性的氮化硅烧结体及氮化硅结构部件
219   200480024471.0    氮化硅质烧结体及其制造方法,和使用其的耐熔融金属用构件、耐磨损用构件
220   200510025454.5    一种氮化硅膜的生长方法
221   200480027732.4    氮化硅耐磨部件及其制造方法
222   200610043941.9    氮化硅陶瓷粉末的生产方法
223   03825798.X    氧化硅和氧氮化硅的低温沉积
224   200510034046.6    氮化硅发热体以及其无压低温烧结制备方法
225   200480025836.1    氮化硅结合SiC耐火材料及其制造方法
226   200480025263.2    形成含氘化氮化硅的材料的方法
227   200510070892.3    高纯氮化硅超细粉磨技术
228   200510070891.9    反应烧结氮化硅粉技术
229   200610017945.X    新型半石墨化碳氮化硅砖及其制造方法
230   200510078059.3    氮化硅只读存储单元的位的读取方法
231   200510087160.5    氮化硅膜形成方法及装置
232   200610088995.7    快速制备高强度氮化硅-氮化硼可加工陶瓷的方法
233   200510083340.6    制作半导体元件的方法和选择性蚀刻氮化硅层的方法
234   200480038017.0    形成高质量低温氮化硅层的方法和设备
235   200510085294.3    基于氮化硅镂空掩模的纳米电极制备方法
236   200480040845.8    氮化硅的热化学气相沉积
237   200510041292.4    氮化硅陶瓷细长工件的生产工艺技术
238   200610087295.6    具有氮化硅-氧化硅介电层的非挥发性记忆元件
239   200480041206.3    在基片处理过程中选择性蚀刻氮化硅的系统和方法
240   200580003451.X    应力被调节的单层氮化硅膜及其沉积方法
241   200610048297.4    一种氮化硅纳米材料的制备方法
242   200610030049.7    一种氮化硅/氮化钛纳米复合材料的制备方法
243   200510086488.5    一种超薄氮化硅/二氧化硅叠层栅介质的制备方法
244   200610128843.5    每单元二位与非门氮化硅陷获存储器
245   200510107199.9    氮化硅层的制作方法和自对准金属硅化物层的制作方法
246   200510116578.4    采用PECVD由氨基硅烷制备氮化硅
247   200610117465.0    高精度圆形长棒氮化硅陶瓷制造方法
248   200610134117.4    一种热等静压氮化硅全陶瓷电主轴及其制造方法
249   200510100306.5    交直流两用节能防静电恒温氮化硅电烙铁
250   200610134118.9    一种无内圈式热等静压氮化硅全陶瓷球轴承及其制造方法
251   200510113716.3    氮化硅层的制造方法及半导体元件的制造方法
252   200610037581.1    氮化硅纳米线和纳米带粉体材料的制备方法
253   200610137101.9    含有氮化硅的耐久性硬质涂层
254   200610140931.7    用于制备氮化硅间隔物结构的方法
255   200610125178.4    一种氮化硅非水基流延浆料及其制备方法
256   200610150781.8    制备氮化硅叠层的方法
257   200510110236.1    一种去除硅片背面氮化硅的方法
258   200610149888.0    用于制备受控应力的氮化硅膜的方法
259   200610022182.8    立方氮化硅材料的冲击波合成方法及合成装置
260   200610155066.3    流化床直接制取氮化硅的装置及其方法
261   200580024991.6    具有控制应力的氮化硅膜
262   200580024380.1    用于制造晶体管的低热预算氮化硅膜及其制备方法
263   200580027656.1    制备氮化硅膜的方法
264   200610070747.X    高强度氮化硅多孔陶瓷透波材料及其制备方法
265   200710014442.1    G3级氮化硅球加工工艺
266   200710048600.5    含立方氮化硅粉体的陶瓷及其制备方法
267   200710087292.7    用于氮化硅陶瓷及氮化硅陶瓷基复合材料钎焊的高温钎料
268   200710057496.6    无氧溶胶-凝胶反应制备致密碳氮化硅陶瓷的方法
269   200710098996.4    逆反应烧结制备氮化硅碳化硅复合材料的方法
270   200710057495.1    无氧溶胶-凝胶反应制备多孔碳氮化硅的方法
271   200710087714.0    用于对二氧化硅和氮化硅进行化学机械抛光的组合物
272   200580040887.6    用于高的氮化硅对氧化硅去除速率比率的抛光组合物及方法
273   200710111653.7    一种高强度、高韧性的氮化硅陶瓷液相烧结法
274   200580040943.6    基于碳化硅与氮化硅粘合剂的烧结耐火砖
275   200710101779.6    在真空中涂覆氮化硅薄膜的方法
276   200710109894.8    具有改进的终点检测能力、用来对二氧化硅和氮化硅进行化学机械抛光的组合物
277   200610027447.3    原子层沉积形成氮化硅氧化阻挡层的方法
278   200610012251.7    化学激励燃烧合成氮化硅/碳化硅复合粉体的方法
279   200710024563.4    一种改性纳米氮化硅粉体及其制备方法和用途
280   201010599587.4    一种铜-6.5氮化硅伪合金液的搅拌方法
281   201110027670.9    一种用于晶体硅太阳电池的双层氮化硅薄膜及其制备方法
282   200980133276.4    氮化硅结合SiC耐火材料的制造方法
283   201010617959.1    一种氮化硅材质微粒捕集器的制备方法
284   201110025965.2    一种高含量α晶形氮化硅粉末的生产方法
285   201110025972.2    一种高含量氮化硅粉末的生产方法
286   201110088711.5    一种QTi3.5-5.5氮化硅半固态浆料的机械均匀分散方法
287   201110088760.9    一种QTi3.5-5.5氮化硅半固态浆料中氮化硅颗粒均匀分散方法
288   201110088788.2    一种镍3锆-6.5氮化硅半固态浆料中氮化硅颗粒均匀分散方法
289   201110088815.6    一种锌10铁-5氮化硅半固态浆料的机械均匀分散方法
290   201110088833.4    一种锌10铁-5氮化硅半固态浆料中氮化硅颗粒均匀分散方法
291   201010570483.0    镀氮化硅减反射膜的方法
292   200980141605.X    用于研磨氮化硅的组合物以及使用所述组合物控制选择比的方法
293   201110120112.7    一种气压烧结氮化硅陶瓷的方法
294   200980142451.6    具有氮化硅电荷陷阱层的非挥发性内存
295   201110072210.8    对包含多晶硅、氧化硅和氮化硅的基片进行抛光的方法
296   201110111342.7    一种双层氮化硅减反膜的制作方法
297   201110072107.3    对包含多晶硅以及氧化硅和氮化硅中的至少一种的基片进行抛光的方法
298   201110072206.1    对包含多晶硅以及氧化硅和氮化硅中的至少一种的基片抛光的方法
299   201110050765.2    一种制备亚微米氮化硅的方法
300   201110133302.2    一种氮化硅表面氢氟酸溶液处理方法
301   201010145012.5    高性能氧化钇氮化硅陶瓷的生产方法
302   201010145017.8    氮化硅中添加氧化铈的陶瓷的生产方法
303   201010146012.7    氮化硅锅炉燃烧器扩流锥的生产工艺
304   201110125888.8    低压预热燃烧合成氮化硅或氮化硅铁的方法
305   201110148586.2    纳米氮化硅粉体填料耐磨聚乙烯塑料及其制备方法
306   201010146272.4    一种平板PECVD氮化硅覆膜系统
307   201110139024.1    一种含硅纳米粒子的氮化硅薄膜制备方法
308   201110182481.9    双层氮化硅减反射膜制备方法
309   201110129169.3    硫代氨基脲辅助低温合成氮化硅微米棒状晶体材料的方法
310   201110213156.4    热加工用氮化硅基金属陶瓷模具材料及其制备方法与应用
311   201110217318.1    一种SONOS结构中氮化硅的生长工艺
312   201110187426.9    带氮化硅介质选择吸收涂层的太阳能集热器芯及制备方法
313   201010189177.2    高孔隙率磷酸盐结合氮化硅多孔陶瓷的制备方法
314   201110153979.2    常压低温烧结β-氮化硅陶瓷的方法
315   201110198041.2    氮化硅结合刚玉透气砖及制备方法
316   201110196001.4    氮化硅复合发热体及其制作方法
317   201110301555.6    一种晶体硅太阳能电池多层氮化硅减反射膜及其制备方法
318   201110265007.2    用于测量太阳能电池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法
319   201110187425.4    具有多级孔径结构的高孔隙率氮化硅多孔陶瓷的制备方法
320   201110201022.0    一种氮化硅和铝双连续相复合材料及其制备方法
321   201110211238.5    用于制造硬密封球阀阀球的氮化硅基固溶相复合陶瓷材料及利用该材料制作阀球的方法
322   201010285784.9    硅、氧化硅和氮化硅的堆栈结构刻蚀方法
323   201110110367.5    一种制造高拉应力氮化硅薄膜的方法
324   201110123685.5    非现场情况下处理氮化硅膜以保证其高张应力的方法
325   201110123697.8    一种在半导体器件中提高氮化硅薄膜拉应力的方法
326   201110258563.7    一种铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧工艺
327   201110150722.1    一种增强氮化硅薄膜张应力的方法
328   201110150725.5    改善双应力氮化硅薄膜集成的全湿法工艺及其中的结构
329   201110183456.2    集成在前道工艺中的硅片背面氮化硅成长方法
330   201110138150.5    埋入式二次氮化硅衬垫的浅槽隔离结构的制备方法
331   201110183430.8    氮化硅-二氧化硅-氮化硅阻挡层的浅沟槽隔离刻蚀方法
332   201010570236.0    一种以分解时能产生氮气的发泡剂为添加剂快速燃烧合成氮化硅粉体的方法
333   201010570860.0    氮化硅的回收方法
334   201110439202.2    一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法
335   201110417143.9    一种制备高纯度氮化硅微纳米粉体的方法
336   201110341838.3    一种高纯度氮化硅粉体的制备方法
337   201110296695.9    硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法
338   201110361710.3    原位生长碳氮化钛晶须增韧氮化硅基陶瓷刀具材料及其制备工艺
339   201110299490.6    一种用于多晶硅铸锭坩埚的氮化硅喷涂溶液的制备方法
340   201110412217.X    一种基于软质磨料固着磨具的氮化硅陶瓷球研磨方法
341   201110354035.1    含碳化硼和氮化硅的熔融石英陶瓷材料的制备方法
342   201110440427.X    一种多孔陶瓷表面氮化硅基涂层的制备方法
343   201210093706.8    氮化硅膜的形成方法
344   201210114141.7    一种形成双应力层氮化硅薄膜的方法
345   201210114142.1    一种形成双应力层氮化硅薄膜的方法
346   201210093937.9    一种形成双应力层氮化硅薄膜的方法
347   201210113715.9    一种形成双应力层氮化硅薄膜的方法
348   201210113716.3    一种形成双应力层氮化硅薄膜的方法
349   201210040624.7    一种氮化硅铁粉的制备方法
350   201210119372.7    车用氮化硅陶瓷预热塞的制备方法
351   201110354595.7    增加聚硅氮烷和氮化硅间黏性和形成沟槽隔离结构的方法
352   201110118695.X    氮化硅添加氧化镨的复合陶瓷制备方法
353   201110118699.8    稀土钇镧复合氮化硅陶瓷生产工艺
354   201110118706.4    一种无压掺铒镧的氮化硅生产工艺
355   201110118717.2    微量氧化铒稳定钐氮化硅的生产方法
356   201110118708.3    铒钕掺杂纳米氮化硅陶瓷材料的制备方法
357   201210303193.9    沉积氮化硅膜的方法、晶硅太阳能电池及其制作方法
358   201210241108.0    一种氮化硅陶瓷球的制备方法
359   201210303971.4    一种氮化硅陶瓷金属化材料及其制备方法与应用
360   201210326929.4    氮化增强剂、氮化硅锰中硅含量的测定方法
361   201210312764.5    一种多层氮化硅减反膜太阳能电池制作方法
362   201180014065.6    用于覆盖高纵横比特征结构的氮化硅钝化层
363   201080032601.0    用于锡酸镉透明导电氧化物的氮化硅扩散阻挡层
364   201210305542.0    一种氮化硅纳米材料的制备方法
365   201210327690.2    氮化硅膜沉积设备和沉积方法
366   201210294388.1    氮化硅膜、制备方法及含有氮化硅膜的硅片和太阳能电池
367   201210318013.4    一种氮化硅电热元件及其制造方法
368   201210378592.1    氮化硅耐磨部件及其制造方法
369   201210441841.7    一种制备自增韧氮化硅陶瓷的方法
370   201210300261.6    纳米氮化硅填充的尼龙复合材料的制备方法
371   201210300262.0    纳米氮化硅填充的尼龙复合材料
372   201110383258.0    一种氮化硅坩埚及其制备方法
373   201310036504.4    一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置
374   201110377092.1    深沟槽器件制造过程中氮化硅的去除方法
375   201310096692.X    一种不烧氮化硅铁-棕刚玉复合耐火材料的制备方法
376   201310096899.7    一种不烧氮化硅铁-尖晶石-刚玉复合耐火材料及制备方法
377   201180043431.0    基于碳氮化硅的磷光体及使用该材料的照明器件
378   201180050007.9    用于沉积碳化硅和碳氮化硅膜的设备和方法
379   201310024121.5    用气流床反应器排出氮气生产氮化硅结合碳化硅制品的隧道窑窑车
380   02232295.7    氮化硅粉体α相转相装置
381   02264298.6    制备纳米氮化硅粉体的气相合成装置
382   94213499.0    制备“无缺陷”氮化硅晶须的装置
383   87206316    氮化硅涂层坩埚
384   89216093.4    氮化硅结合碳化硅材料作侧衬砖的铝电解槽
385   92241456.4    氮化硅陶瓷火焰进气预热装置
386   97226683.6    工字型氮化硅结合碳化硅横梁
387   99225518.X    氮化硅电热水器
388   99209430.5    氮化硅发热装置
389   99209429.1    带消音装置的氮化硅发热装置
390   99236164.8    漏电安全型氮化硅发热体
391   00202295.8    氮化硅电开水炉
392   00202294.X    氮化硅电开水器
393   200720153991.2    氮化硅陶瓷点火装置
394   200720091553.8    设有环形应力缝的自结合碳化硅、氮化硅结合碳化硅棚板
395   200420084694.3    一种用于高纯粉体分级的氮化硅陶瓷分级叶轮
396   200420054571.5    氮化硅陶瓷导轮
397   201120226073.4    降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台
398   201220432100.8    一种复合结构的氮化硅结合碳化硅陶瓷升液管
399   201220423037.1    一种氮化硅陶瓷内衬弯头
400   201220455178.1    氮化硅膜沉积设备
401   201120514733.9    一种氮化硅反应槽
402   201120375433.7    一种内嵌陶瓷纤维的氮化硅结合碳化硅陶瓷升液管
403   201220041652.6    双层氮化硅减反膜
404   201220114866.1    一种低电压干点型氮化硅陶瓷点火装置
405   201220432100.8    一种复合结构的氮化硅结合碳化硅陶瓷升液管
406   201220423037.1    一种氮化硅陶瓷内衬弯头
407   201220455178.1    氮化硅膜沉积设备
408   201220740131.X    一种防结垢氮化硅陶瓷电热板
409   03152915.1    氮化硅和碳化硅一维纳米结构及其制备方法
410   02128250.1    氮化硅只读存储元件的操作方法
411   02140799.1    氮化硅只读存储器的制造方法
412   02802876.7    多孔氮化硅陶瓷及其生产方法
413   02142892.1    定义氧化硅/氮化硅/氧化硅介电层的方法
414   02142191.9    降低第二位效应的氮化硅只读存储单元及其制造方法
415   03137265.1    制造氮化硅只读存储器的方法
416   02138262.X    制备纳米氮化硅粉体的气相合成装置
417   02138263.8    制备纳米氮化硅粉体的系统
418   03149961.9    一种氮化硅燃烧合成过程中增压调控的生产方法
419   02158676.4    氮化硅只读存储器及其制造方法
420   02149394.4    制造氮化硅只读存储器的方法
421   03140810.9    氮化硅只读存储器及其制造方法
422   03140387.5    一种提高氮化硅陶瓷抗氧化性能的表面改性方法
423   03130644.6    制造具有氧化硅/氮化硅/氧化硅层的半导体组件的方法
424   02814985.8    氮化硅耐磨部件及其制造方法
425   200310113597.2    一种含氮化硅铁的免烘烤铁沟捣打料
426   200310115047.4    一种含氮化硅铁的Al2O3-SiC-C体系无水炮泥
427   200310108838.4    双终点检测控制STI CMP工艺氮化硅厚度稳定性的方法
428   200310108840.1    一种控制STI CMP工艺中残余氮化硅厚度稳定性的方法
429   200310109459.7    解决湿法剥离氮化硅薄膜新的清洗溶液
430   03131388.4    移除氮化硅层的方法
431   03131407.4    蚀刻氮化硅薄膜的设备及方法
432   200410016198.9    自蔓延高温合成氮化硅镁粉体的制备方法
433   200410016325.5    由硅化镁燃烧合成氮化硅镁粉体的制备方法
434   200710072312.3    氮化硅基复合材料燃烧合成方法
435   200710126049.1    通过添加碳降低氮化硅蚀刻速率的方法
436   200580046197.1    用于二氧化硅和氮化硅层的蚀刻的可印刷介质
437   200710015087.X    氮化硅陶瓷连杆衬套及其制备方法
438   200710119160.8    高热导率氮化硅陶瓷材料及其制备方法
439   200710018518.8    电子回旋共振等离子体化学汽相淀积氮化硅薄膜的方法
440   200610029618.6    去除硅片背面氮化硅膜的方法
441   200710070442.3    氮化硅涂层钢领及其制备方法
442   200680006657.2    形成用于CMOS器件的自对准的双氮化硅衬垫的方法
443   200810017782.4    一种氮化硅多孔陶瓷组方及制备方法
444   200680032665.4    用来在不存在氮化硅的条件下进行硅的KOH蚀刻的负性光刻胶
445   200810015630.0    一种低温制备氮化硅粉体材料的方法
446   200810064326.5    一种氮化硅陶瓷颗粒增强铝基复合材料及其制备方法
447   200810025357.X    平板氮化硅薄膜PECVD沉积系统
448   200810064249.3    钎焊氮化硅陶瓷的钎料及钎焊氮化硅陶瓷的方法
449   200810015862.6    高α-Si3N4相氮化硅制备方法
450   200710306176.X    用来改变氧化硅和氮化硅膜的介电性能的有机硅烷化合物
451   200710114558.2    自蔓燃合成法制备高β相氮化硅棒状晶须的方法
452   200680037090.5    掺杂氮化硅薄膜的低温沉积方法及装置
453   200810014017.7    氮化硅纳米材料的低温固相反应制备
454   200810108893.6    氮化硅膜、半导体装置及其制造方法
455   200810099859.7    氮化硅膜的干刻蚀方法
456   200810116673.8    一种纳米氮化硅陶瓷粉体的制备方法
457   200810031670.4    一种氮化硅复合陶瓷发热体
458   200810062734.7    一种适合氮化硅晶须生长的方法
459   200810150370.8    多孔氮化硅-二氧化硅透波材料的制备方法
460   200810013195.8    一种氮化硅纳米粉末合成方法
461   200810197040.4    亚微米级斜方氮化硅镁多晶体陶瓷粉末的制备方法
462   200810151191.6    氮化硅/氧化硅双层增透保护薄膜的制备方法
463   200780006548.5    用于抛光氮化硅的组合物及方法
464   200710046302.2    去除缺陷膜层及形成氧化硅-氮化硅-氧化硅侧墙的方法
465   200710046213.8    氮化硅薄膜及接触刻蚀停止层的形成方法
466   200780007656.4    用于溅镀张力氮化硅膜的系统和方法
467   200710046494.7    制备氮化硅的方法
468   200710077257.7    制备氮化硅陶瓷发热体的凝胶注模成型工艺方法
469   200710161802.0    氮化硅间隙填充层及其形成方法
470   200810012080.7    氮化锆-氮化硅复合粉体的制备方法
471   200810232098.8    一种基于碳热还原制备无晶界相多孔氮化硅陶瓷的方法
472   200810232099.2    一种基于渗硅氮化制备无晶界相多孔氮化硅陶瓷的方法
473   200710180756.9    氮化硅只读存储器及其字线的制造方法
474   200810224676.3    氮化硅湿法腐蚀方法
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476   200810243655.6    低压下在石英坩埚内壁上喷涂氮化硅涂层的方法及装置
477   200810209685.5    一种以磷酸盐为烧结助剂的氮化硅基复合陶瓷及制备方法
478   200710170549.5    根据氮化硅薄膜应力校准薄膜沉积机台中机械手位置的方法
479   200810249513.0    自蔓燃制备低氧含量高α-相氮化硅粉体的方法
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493   200910014462.8    原位生长碳氮化钛系晶须增韧氮化硅基陶瓷刀具材料粉末及其制备工艺
494   200810033052.3    一种可降低漏电流的氮化硅制作方法
495   200780017771.X    利用原位氮等离子体处理及非原位紫外光固化来增加氮化硅拉伸应力的方法
496   200780029146.7    氮化硅酸盐类荧光材料和具有这类荧光材料的光源
497   200680055457.6    一种用自对准氮化硅掩膜形成浅沟槽隔离的方法
498   200680055512.1    一种用于铜工艺无边导通孔的自对准氮化硅覆层方法
499   200910021515.9    一种利用凝胶注模法制备氮化硅多孔陶瓷的方法
500   200910096750.2    提高太阳电池用非晶氢化碳氮化硅薄膜钝化性能的热处理方法
501   200910064570.6    一种氮化硅锰合金的生产方法
502   200910077286.2    一种高致密长寿命的氮化硅陶瓷材料
503   200910077287.7    一种高可靠性大尺寸氮化硅陶瓷材料的制备方法
504   200910138223.3    一种钛酸铝-氮化硅复合材料及其反应合成制备方法
505   200910138224.8    一种氮化烧结钛酸铝-氮化硅复合材料及其制备方法
506   200910022262.7    一种生产塞隆/氮化硅复相结合碳化硅制品的方法
507   200910138225.2    一种反应烧结钛酸铝-氮化硅复合材料及其制备方法
508   200910082049.5    高纯度高密度单晶氮化硅纳米阵列的制备方法
509   200910015236.1    氮化硅陶瓷的制备方法
510   200910015257.3    一种氮化硼晶须/氮化硅陶瓷复合材料及其制备方法
511   200810023748.8    带熄火保护功能的氮化硅点火器
512   200910015758.1    氮化硼纳米管增强的氮化硅陶瓷及其制备方法
513   200910066831.8    氮化硅纳米梳及其制备方法
514   200910071698.5    多孔氮化硅/氧氮化硅陶瓷复合材料的近净尺寸制备方法
515   200910141773.0    形成高质量的低温氮化硅层的方法和设备
516   200810131133.7    形成氮化硅层于栅极氧化物膜上的制备方法
517   200810105905.X    氮化硅薄膜及MIM电容的形成方法
518   200680010740.7    低温制作高应变等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的方法
519   200880002544.4    用于半导体器件的多层氮化硅沉积
520   200810037676.2    去除氮化硅薄膜的干法蚀刻方法
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522   200810067548.2    一种氮化硅陶瓷的制备方法及由该方法制备的氮化硅陶瓷
523   200910047833.2    高强度氮化硅结合碳化硅材料及其制备方法
524   200810159024.6    氧化锆增强氮化硅/石英基陶瓷复合材料及其制备方法
525   200810113999.5    等离子体处理腔室中原位紫外线处理方法及应力氮化硅膜的形成方法
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547   201010230573.5    一种制备碳化硅颗粒增强氮化硅复相陶瓷零件的方法
548   201010271873.8    氮化硅材料及其制备方法和氮化硅发热器件及其制备方法
549   200910024145.4    表面致密多孔氮化硅陶瓷透波材料的制备方法
550   200910197118.7    共享字线的基于氮化硅浮栅的分栅式闪存
551   200910186468.3    一种高纯氮化硅的回收方法
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553   200910272706.2    一种氮化硅基封孔涂层的制备方法
554   200910219326.2    一种氮化硅增强铝基复合材料的制备方法
555   200910234467.1    一种用于腐蚀氮化硅掩膜的浆料的清洗方法
556   200810197380.7    氮化硅陶瓷球轴承及其加工方法
557   200910216671.0    纳米氮化硅粉的生产方法
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559   200810183928.2    一种氮化硅发热体及其制造方法
560   200910245086.3    含金属硅粉的氮化硅陶瓷材料凝胶注模成型方法
561   201010044457.4    氮化硅发热体及其制作方法
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611   201010541470.0    一种以硅粉作添加剂实现非晶氮化硅粉末的快速晶化方法
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620   201010564096.6    同时形成晶体硅太阳能电池PN结和氮化硅减反射膜的方法
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622   200980126052.0    氮化硅基板及其制造方法,以及使用该氮化硅基板的氮化硅电路基板和半导体模块
623   201010222737.X    具有薄氮化硅层的金刚石SOI
624   201010594193.X    一种选择性发射极及氮化硅薄膜开槽同步实现工艺
625   201010118122.2    刻蚀设备和氮化硅的刻蚀方法
626   200980137229.7    氮化硅的选择性蚀刻
627   201110129167.4    溶剂热法低温合成氮化硅纳米棒状晶体材料的方法
628   201110005941.0    氮化硼纤维织物增强氮化硅陶瓷材料的制备方法
629   201110088887.0    一种镍3锆-6.5氮化硅半固态浆料的机械均匀分散方法
630   201010582116.2    氮化硅发热体的制作方法
631   200980139851.1    形成氮化硅基薄膜或碳化硅基薄膜的方法
632   201110111804.5    制备基于氮化硅和β-锂霞石陶瓷复合材料的方法
633   201110176487.5    半导体器件制备过程中氮化硅层的制备方法
634   200980150034.6    生产高纯度氮化硅的方法
635   201110247169.3    一种制备多孔氮化硅陶瓷材料的方法
636   201110187436.2    尺度可控的氮化硅纳米线短波长发光材料的制备方法
637   201010225795.8    氮化硅发热片的制作方法
638   201110251079.1    用于提高氮化硅批间均匀度的非晶硅陈化作用
639   201110223405.8    含氧化铝颗粒与氮化硅晶须的碳化钨复合材料及制备方法
640   201110392801.3    一种金属-氮化硅-金属电容的制作方法
641   201110223405.8    含氧化铝颗粒与氮化硅晶须的碳化钨复合材料及制备方法
642   201110392801.3    一种金属-氮化硅-金属电容的制作方法
643   201110435430.2    一种IMC氮化硅陶瓷基复合刹车片的制作方法
644   201110389200.7    均匀沉积氮化硅以形成侧墙的方法
645   201110374168.5    增加PECVD氮化硅膜层的压缩应力的方法
646   201110361154.X    一种金属-氮化硅-金属电容的制造方法
647   201110370827.8    一种多层金属-氮化硅-金属电容的制作方法
648   201110250275.7    一种预防在双应力氮化硅工艺中光阻失效的方法
649   201110250241.8    一种对包含氮化硅的刻蚀硬掩膜层的刻蚀方法
650   201110250285.0    一种预防在双应力氮化硅工艺中光阻失效的方法
651   201110265314.0    建立有源区氮化硅膜应用数据库的工艺方法
652   201110299091.X    一种降低双大马士革氮化硅工艺颗粒的处理方法
653   201110361149.9    一种多层金属-氮化硅-金属电容及其制作方法
654   201110359861.5    一种多层金属-氮化硅-金属电容及其制作方法
655   201110250280.8    一种预防在双应力氮化硅工艺中光阻失效的方法
656   201010553801.2    不锈钢与氮化硅陶瓷的连接方法及制得的连接件
657   201010565691.1    不锈钢与氮化硅陶瓷的连接方法及制得的连接件
658   201210061354.8    抗软化氮化硅梯度掺杂石英坩埚制备方法
659   201010589513.2    氮化硅材料和氮化硅材料制成的隔热盘罩的制备方法
660   201010600945.9    高性能氯化镝复合氮化硅陶瓷的制备方法
661   201010600971.1    一种稀土镨钬稳定氮化硅陶瓷的生产工艺
662   201010600974.5    氮化硅添加微量铒铈的高性能陶瓷制备方法
663   201010600999.5    氧化铒钇稳定氮化硅纳米陶瓷粉体的制备方法
664   201010601041.8    氧化镝氧化铥复合氮化硅陶瓷制备方法
665   201010601046.0    一种高性能氧化钇复合氮化硅陶瓷的制备方法
666   201010601242.8    一种掺杂氧化镧氧化镝的氮化硅制备工艺
667   201010601386.3    一种耐压钕铥氮化硅陶瓷的制备方法
668   201010620801.X    高强度氮化硅掺杂钕镝的生产方法
669   201010620806.2    一种纳米氧化钇氧化钪复合氮化硅陶瓷材料的制备方法
670   201010620856.0    微量氧化钕添加的复合氮化硅陶瓷的制备方法
671   201010620878.7    无压氮化硅掺杂钐镧的生产工艺
672   201010620888.0    氧化钪混合氧化钬稳定氮化硅材料的生产工艺
673   201010600984.9    一种具有高强度的钇镝氮化硅生产工艺
674   201010601377.4    稀土铒掺杂纳米氧化钬氮化硅的制备工艺
675   201110423222.0    一种晶体硅太阳电池的渐变减反射氮化硅薄膜的制备工艺
676   201110428452.6    在RIE方法制绒的硅片表面测量氮化硅膜厚度的方法
677   201080044020.9    氮化硅膜的成膜方法和半导体存储装置的制造方法
678   201210045285.1    一种亚微米级单相氮化硅粉体的合成方法
679   201010588119.7    氮化硅掺杂氧化钬陶瓷的制备方法
680   201010601058.3    一种高耐磨的氯化镧复合氮化硅陶瓷的制备方法
681   201010601367.0    一种氧化镝加强的氮化硅制备工艺
682   201010620784.X    氧化铈复合氮化硅特种陶瓷的制备方法
683   201010620849.0    一种纳米氧化铒氧化镨复合氮化硅陶瓷材料的制备方法
684   201010620857.5    一种纳米氧化铥氧化镧复合氮化硅陶瓷材料的制备方法
685   201010620859.4    一种高密度的氧化铈掺杂钪稳定氮化硅的生产工艺
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691   201010620904.6    一种纳米氧化钕氧化镨复合氮化硅陶瓷材料的制备方法
692   201110433909.2    氮化硅膜的成膜方法和成膜装置
693   201110462913.1    一种生产规则形貌α相氮化硅粉体的方法
694   201210034652.8    一种具有带状纤维形貌的氮化硅的制造方法
695   201210034634.X    一种含镁橄榄石-氮化硅-碳化硅的碱性复相耐高温粉体的制造方法
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