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D1424、硅膜、氮化硅膜制造制备技术配方生产工艺专利大全
作者:佚名 来源:本站原创 点击:10501 更新:2013-9-4 21:00:17

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硅膜、氮化硅膜制造制备技术配方生产工艺专利技术资料

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43   200410085785.3    多晶硅膜的形成方法
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